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                                        0755-82112558
      
136-3151-6816
                                    
      
                                
      
                            
      
                        
      
                    
      
                
      
            
      
        
      
    
      

      

      
    
      
        
      
            
      
                
      
                    
                
      
            
      
        
      
    
      

      


      
    
      
        
      
            
      
                
      
                    
                
      
            
      
        
      
    
      

      








      
    
      
        
      
            
      
                
      
                    
                
      
            
      
        
      
    
      

      

      
    
      
        
      
            
      
                
      
                    
      
                        
      
                            
                        
      
                    
      

                
      
                          
      
                              
      
                                  
                              
      
                          
      
                
      
            
      
        
      
    
      

      




      
    
      
        
      
            
      
                
      
                    
      
                        
      
                            
      
                                    平面伺服馬達(dá)LMSP
                            
      
                        
      
                    
      
                
      
                
      
                    
      
                        
      
                            
                        
      
                    
      
                
      
            
      
            
      
        
      
        
      
            
      
                
      
                    
      
                        
      
                            
      平面伺服馬達(dá)LMSP
      
                        
      
                    
      
                
      
                
      
                    
      
                        
      
                            
                        
      
                    
      
                
      
            
      
            
      
                
      
                    
      平面伺服馬達(dá)藉由空氣軸承并整合位置感測(cè)器，可于單一定子上放置多顆動(dòng)子。

? 雙軸定位平臺(tái)

? 整合位置感測(cè)器可作閉回路控制

? 采用空氣軸承故無磨耗

? 磁場(chǎng)不外漏，不影響周圍設(shè)備

? 無溫升問題，系統(tǒng)精度相對(duì)穩(wěn)定

? 可倒吊安裝

0.001mm

重現(xiàn)精度

定子大面積

1000x1000mm

0.001mm

高分辨率
      
                
      
            
      
        
      
        
      
            
      
                
      
                    
                
      
            
      
            
      
                
      
                    
                
      
            
      
        
      
    
      

      

      
    
      
        
      
            
      
                
      
                    
      
                        
        
                        
      
                    
      
                
      
            
      
            
      
                
      
                
      
            
      

           



            
      
                
      
                    
                
      
            
      

            
      
                
      
                    
                
      
            
      
            
      
                
      
                    
                
      
            
      
            
      
                
      
                    
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